商品詳細
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| 商品名：はじめての半導体計測 | |
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| 商品副データビギナーズブックス水野文夫工業調査会この著者の新着メールを登録する発行年月：2008年03月登録情報サイズ：単行本ページ数：238pISBN:9784769312710【内容情報】（「BOOK」データベースより）計測の中で、半導体デバイスの研究・開発・製造に用いられる観測技術を「半導体計測」という。半導体デバイスが現在のIT（情報技術）時代・ユビキタス社会（どこにでもコンピュータが存在する社会）を支える土台であるとするならば、半導体計測はその土台を下支えする基礎になり、歩留まり向上などにも重要な役割を果たす。本書は、こうした半導体計測技術の基礎から各手法の内容、またケースごとの半導体計測の原理やポイントについて詳細に解説。【目次】（「BOOK」データベースより）第1章 計測（計測とは／計測の機能／計測の性能／トレーサビリティ）／第2章 半導体計測（半導体計測の種類／半導体計測の特徴／半導体計測の手法）／第3章 主な半導体計測（パターン寸法・LER（LWR）・形状の観測／微粒子・パターン欠陥の検査／膜厚の測定／ウエーハ表面汚染物質の分析／補足：既成概念からの脱却…超高エネルギー電子ビームの使用）【著者情報】（「BOOK」データベースより）水野文夫（ミズノフミオ）明星大学・理工学部教授、工学博士、技術士（電気電子）。1970年、名古屋大学大学院・電子工学専攻・修士課程修了、（株）日立製作所勤務を経て2001年より明星大学に勤務。1995年R＆D 100 Award（USA）、1996年市村賞受賞（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）この商品の関連ジャンルです。本 > 科学・医学・技術> 工学> 電気工学 | |
